미래먹거리 확보 지원 20년...나노종기원 족적 커

니노종합기술원 전경

나노종합기술원은 지난 20년 우리나라의 반도체, 센서, 나노바이오 분야 산업 고도화, 미래 먹거리 창출에 핵심 역할을 했다.

산·학·연에 세계 수준 클린룸 환경을 제공했고, 신기술 개발에도 힘써 전체 산업 역량을 제고했다.

전반기 10년여는 기반 구축 시기였다. 2000년대 초 나노기술이 급속 발전한 시기에 나노소자 제작·시험·분석·측정·가공이 가능한 팹 센터 필요성이 대두했고, 이는 '나노기술종합발전계획'으로 급물살을 탔다.

이에 대덕연구개발특구 내 기존 인프라와의 접근성이 뛰어난데다 국토 중앙에 위치해 전국적인 접근도 쉽다는 점에 힘입어 한국과학기술원(KAIST) 부설 기관으로 '나노종합팹센터'가 2004년 설립됐다.

내빈들이 2005년 열린 나노종합팹센터 준공식에서 테이프 커팅을 하고 있다.

2010년에는 나노기술 전문인력 양성센터로 지정됐고, 2013년 나노종합기술원으로 명칭이 바뀌어 지금에 이른다.

2014년에는 과학기술정보통신부 직할 출연기관이 돼 위상을 확보했고, 이어 성장동력을 갖춰나갔다.

2015년 나노인프라 기관 최초로 한미 나노기술 공동연구센터를 유치했고, 이듬해 미세전자기계시스템(MEMS)센터 장비(35대 200억원 상당)를 이전받아 첨단센서 플랫폼을 구축했다. 다시 이듬해 나노바이오 융합플랫폼 기술도 구축했다.

이후에는 다양한 국내외 산업 위기에 적극 대응해 나노반도체 연구개발(R&D) 지원 대표기관 자리를 공고히 했다.

일본 반도체 수출 규제로 소·부·장 기술 확보 필요성이 커진 2019년, 국내 최초로 12인치 반도체 소·부·장 테스트베드 구축을 추진했고, 2021년부터 서비스에 나섰다.

연구원이 나노종합기술원 청정실 ArF 이멀전 스캐너, 트랙 장비로 실험을 하고 있다.

같은 해 대전시 전략산업 첨단센서 육성기반(K-센서 플랫폼)을 갖췄고, 세계적 위기였던 코로나19 팬데믹 시기에 관련 기술 개발에 힘썼다.

지능형 반도체에 대한 관심이 폭발적으로 증대한 지난해부터는 차세대 지능형 반도체 플랫폼 구축을 추진하기도 했다.

이들 행보와 노력으로 남긴 굵직한 족적도 여럿이다.

2021년 소·부·장 사태 당시 총 300평 규모 300㎜(12인치) 테스트베드 구축 후 중소기업 양산기술 개발 지원 사례를 들 수 있다.

지난해 12월 기준 약 2년10개월 동안 86개 기업·기관에 6301건의 12인치 기술개발과 검증, 시제품 제작 지원, 수요기업 양산평가 연계 등 서비스를 제공했다.

반도체 공정기반 코로나19 대응 진단키트 개발도 눈에 띈다. 민감도 90% 이상과 특이도 100% 이상 고성능이면서 가격 경쟁력까지 높인 신속 현장진단키트를 개발, 상용화에도 성공했다.

자율자동차와 보안 분야에 활용 가능한 초소형 적외선 센서 플랫폼을 개발, 사업화한 것도 주된 성과다.

김영준 기자 kyj85@etnews.com