차세대 반도체 소재 상용화 핵심 '2D 결정 스캐너 기술' 개발

아주대·성균관대·전남대 공동 연구팀

미지의 이차원 소재의 2D 결정 스캐닝 전과정. (아주대 제공)/뉴스1

(대전=뉴스1) 김태진 기자 = 국내 연구진이 차세대 반도체 소재 상용화를 위한 핵심 기술을 개발했다.

한국연구재단은 아주대 이재현 교수 연구팀이 성균관대 황동목 교수, 전남대 김태훈 교수와 합성된 다결정 이차원 반데르발스 재료의 미세구조를 정확하게 분석할 수 있는 ‘2D 결정 스캐너 기술’을 개발했다고 2일 밝혔다.

이차원 반데르발스 재료는 실리콘을 대체할 차세대 반도체 기술의 핵심 소재로 주목받고 있다.

새로운 재료를 실제 제품에 적용하기 위해서는 재료 전반의 특성을 파악할 수 있는 미세구조를 정확하게 분석할 수 있는 기술이 선행적으로 개발해야 한다.

그러나 이차원 반데르발스 소재는 두께가 원자층 수준에 불과해 일반적으로 사용되는 미세구조 분석법(X선 결정법 및 전자현미경 등)의 직접적인 적용이 불가능하다.

이로 인해 합성된 이차원 반데르발스 소재의 상용화를 빠르게 달성하기 위해서는 미세구조를 정확하게 분석할 수 있는 기술이 필요하다.

이에 연구팀은 서로 다른 이차원 반데르발스 소재를 각도가 다르게 겹쳐 적층할 때 나타나는 무아레 무늬와 이에 따른 광학적 특성 변화에 주목했다.

무아레 무늬는 규칙적으로 되풀이되는 무늬들이 합쳐졌을 때 나타나는 새로운 간격을 갖는 무늬를 말한다.

연구팀은 우선 미세구조의 결정 방향이 확인된 단결정 단층 그래핀을 광학필터로 활용해 이 위에 합성된 미지의 다결정 그래핀을 반데르발스 힘(가까운 거리에 있는 전기적으로 중성인 분자들이 서로 끌어당기는 힘)을 이용해 적층한 후 나타나는 변화를 라만분광법으로 분석했다.

그 결과 미지의 다결정 그래핀 내부에 존재하는 여러 미세구조 정보들이 광학필터로 활용된 단결정 단층 그래핀과 서로 다른 각도로 적층된 것을 확인했으며 이를 통해 어긋난 미세구조의 광학적 정보를 빠르고 정확하게 스캔해 이미지화할 수 있었다.

또 분석을 완료한 시편은 원자-스폴링 기술을 통해‘포스트잇’을 떼는 것처럼 물리적 파괴 없이 깨끗하게 분리했다.

원자-스폴링 기술은 약한 반데르발스 힘으로 층층이 쌓여있는 구조를 가진 이차원 반데르발스 결정에 발생하는 균열의 깊이와 방향을 원자 두께 수준에서 제어할 수 있는 본 연구팀의 독자 기술이다.

이러한 연구 성과는 대면적으로 합성된 이차원 소재의 미세구조를 빠르고 정확하게 분석할 수 있게 되면서 소재에 대한 높은 신뢰성이 요구되는 분야의 어려움을 해결할 수 있을 것으로 기대된다.

이재현 아주대 첨단신소재공학과 교수. /뉴스1

이재현 교수(교신저자)는 “후속 연구를 통해 양산 공정에 적용이 가능한 실시간 고속 분석 기술로 발전이 가능할 것으로 예상된다”고 말했다.

과학기술정보통신부와 한국연구재단이 추진하는 이공분야 중견연구자 지원 사업으로 수행된 이번 연구 성과는 재료 분야 국제학술지 '어드밴스드 머티리얼스' 온라인에 지난달 4일 게재됐다.

memory4444444@news1.kr