나노종합팹센터, 1주년 국제심포지엄

　나노기술(NT) 분야의 전세계 전문가들이 대거 대덕연구개발특구로 몰려온다.

　나노종합팹센터(소장 이희철 http://www.nnfc.com)는 16일 한국과학기술원(KAIST) 대강당에서 출범 1주년을 기념해 그동안 센터가 추진해온 연구개발 성과를 모두 공개하는 나노기술 국제심포지엄 'NNFC 2006'을 개최한다. 이번 행사기간에는 450여명의 국내외 나노 전문가들이 참여, 나노기술 개발 동향과 향후 응용기술 개발 방향 등을 논의하고 전시회도 열린다.

　◇국내·외 전문가 대거 참여=해외에서는 미국 반도체산업 컨소시엄 형태의 연구기관인 세마텍 알렉스 오실로프스키 부사장을 비롯 나노기술 전문시장조사업체 룩스 리서치의 매튜 노단 부사장, 독일 라이프니찌 IHP연구소(Innovations for High Performence) 메어 볼프강 소장 등이 참석한다.

　또 국내에서는 LG전자 김성태 부사장, 삼성종합기술원 고한승 상무, 주성엔지니어링 손종원 전무, KAIST 최양규 교수, 기계연구원 정준호 박사 등이 △나노소자 △나노 신소재 △바이오 멤스 △나노 특성평가 등 4개로 나눠 치러지는 세션에서 주제발표를 한다.

　◇팹 성과 30건 공개=이번 행사에선 나노팹센터를 이용해 개발된 연구성과 및 기술개발 사례 30건이 공개된다.

　지난해 3월부터 팹 이용 서비스에 들어간 나노팹센터는 지난 1년 간 2243건의 이용신청 가운데 1870건의 서비스를 지원했다.

　주요 성과로는 LG전자기술원 소자재료연구소가 포토닉 크리스털 기술을 이용해 LED의 휘도를 20% 이상 개선했다. 삼성종합기술원 나노디바이스 랩은 256Mb급 M램 어레이 미들 공정도 개발했다.

　한국기계연구원에서는 50㎚급 나노패터닝이 가능한 자외선 나노임프린트 공정 기술, 국가핵융합센터 연구개발부는 중성 입자빔을 이용한 애칭용 마스크 제작 기술도 공개한다.

　◇부대행사=나노팹 센터는 이번 행사에서 참가자들에게 보유 시설을 모두 관람시키는 투어 프로그램을 마련했다.

　1533평의 청정실에 CMOS 집적공정과 MEMS공정, 바이오 칩·센서 제작 장비, 특성평가 장비 및 공정 기술, 조각 시편부터 8인치 웨이퍼까지 가공이 가능한 장비, 이빔 리소그라피 등 모두 146종의 장비를 공개한다.

　이희철 소장은 "미국 스탠퍼드 나노팹 등 해외 4개 기관과 국제 연구협력 체제를 확립하는 한편 전국 17개 기관과 장비, 시설 공동활용을 위한 양해각서 체결 및 장비 백업 시스템을 구축했다"며 "이번 행사를 세계로 나아가는 전환점으로 삼을 계획"이라고 말했다.

　대전=박희범기자@전자신문, hbpark@etnews.co.kr

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